基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法

• 作者: 朱秋东 胡摇 郝群 马建荣
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 逆向哈特曼 面形测量 非球面 球坐标
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 11-15
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 2350字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2013.01.03

摘要

提出一种基于球坐标的逆向哈特曼面形测量法,能够有效地降低非球面测量时的光线斜率,同时提高哈特曼法测量的动态范围和空间分辨率.利用该方法对口径340 mm非球面度较大的表面进行仿真测量,结果显示面形测量误差可保证在λ/10以内,高于直角坐标下的测量精度.该方法可用于光学生产现场对产品进行快速高精度测量,测量成本低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝群	北京理工大学光电学院	90	760	14.0	24.0
2	朱秋东	北京理工大学光电学院	27	177	8.0	12.0
3	胡摇	北京理工大学光电学院	15	30	4.0	4.0
4	马建荣	北京理工大学光电学院	3	3	1.0	1.0