高频超声换能器频率混叠现象的分析与优化

• 作者: 刘仲武 孟凡豪 张震
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 频率混叠 超声换能器 引线焊接 灵敏度分析
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 所属期刊栏目: 制造技术辕工艺装备
• 页码范围: 68-71
• 页数: 4页
• 分类号: TB552
• 字数: 2136字
• 语种: 中文

摘要

随着芯片引脚间距的减小以及芯片焊接温度的降低，更高频率的超声波换能器在芯片封装行业中有着广泛的应用前景。通过有限元分析软件ANSYS10．0建立了工作频率为133 kHz的超声换能器的有限元模型，研究其工作频率附近振动模态特性，结果表明，超声换能器易产生频率混叠现象，导致焊接质量下降。采用频率灵敏度分析法对换能器结构参数进行优化，使工作模态频率与非工作模态频率的最小间隔由0．7kHz增加到4．6kHz，有效地抑制了频率混叠。使用安捷伦阻抗分析仪对加工的超声换能器的阻抗特性进行测试，仿真结果与测试结果能够很好地吻合。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张震	中国计量学院机电工程学院	4	5	2.0	2.0
2	刘仲武	中国计量学院机电工程学院	2	2	1.0	1.0
3	孟凡豪	中国计量学院机电工程学院	3	16	2.0	3.0