分子泵性能测试的工程误差探析

• 作者: 刘安良 靳毅
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 分子泵 压缩比 抽速 滴管流量计 误差
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 563-566
• 分类号: TB752+.27
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2013.06.11

摘要

针对当前普遍采用的分子泵抽气性能测试方法与程序,讨论用升压法测量涡轮分子泵压缩比时实测计算值与真实值之间客观存在的差异,并讨论用其测量复合分子泵压缩比的可行性；分析用滴管流量计法测量分子泵(涡轮分子泵和复合分子泵)抽速时可能产生的直接或间接的误差,并提出消除此类误差的基本思路,基于此思路,在实际工程中可得到科学可靠的更能客观反映产品性能的测试数据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳毅		5	12	2.0	3.0
2	刘安良		3	11	2.0	3.0