基于图案匹配LED芯片定位系统

• 作者: 吴晓
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 图案匹配 特征点 LED芯片 定位系统 机器视觉
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: 半导体检测与设备
• 页码范围: 556-559
• 分类号: TN312.8|TP242.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2013.07.016

摘要

LED芯片定位是进行芯片检测、划片、扩晶、固晶及判断芯片电气特性、芯片管脚是否达到要求,能否成功分选LED芯片质量的关键一环.针对这一问题,提出了一种图案匹配的定位方法.首先通过获取物体图像的边界特征点,拟合出不依赖于像素灰度的边界形状几何曲线,即图案模板,然后在待检测的图像中搜索相似的几何形状,达到精确定位LED芯片的目的.由于该图案模板与边界有关,与灰度无关,且能旋转、缩放,因此可大大提高定位的鲁棒性和准确性.实验结果表明,其图像定位误差小于1μm,定位速度大于5粒/s,为检测机、分拣机和固晶机等设备的芯片级高精度定位系统开辟了新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴晓		40	112	6.0	8.0