基于规则球型纳米颗粒的探针建模与图像重构

• 作者: 侯静 刘继飞 刘连庆 董再励 袁帅
• 来源期刊: 高技术通讯
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 数学形态学 探针建模 纳米操作
• 年，卷（期）: 2013,（9）
• 所属期刊栏目: 先进制造与自动化技术
• 页码范围: 946-950
• 页数: 5页
• 字数: 1840字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3772/j.issn.1002-0470.2013.09.011

摘要

考虑到在原子力显微镜扫描成像过程中,由于探针针尖形貌和样品表面的卷积作用,使得样品形貌在扫描图像中的形状“展宽”,严重影响了原子力成像的质量,进行了重构探针形貌,然后使用反卷积的方法降低扫描图像中探针展宽效应的研究.分析了目前常用的探针建模方法——盲建模算法,该方法不需要已知表面形貌的样品薄膜(如多孔铝薄膜)来标定探针形貌,但会使降噪参数对探针建模结果产生很大影响,并且标定薄膜的表面也容易被污染,这样就降低了该方法的使用效率.针对这些问题,提出基于数学形态学的建模方法,即通过在平整的表面上沉积规则球型纳米颗粒对探针模型建模,然后重构扫描图像.通过仿真与实验结果验证了该方法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董再励	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	73	1005	17.0	29.0
2	刘连庆	中国科学院沈阳自动化研究所国家机器人学重点实验室	28	39	4.0	4.0
3	袁帅		23	126	7.0	11.0
7	侯静		7	17	3.0	4.0
11	刘继飞		17	71	3.0	8.0