“LPP-EUV”光源中的高功率CO2激光监测与控制系统

• 作者: 姜振华 王挺峰 郭劲
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 极紫外光源 CO2激光器 参数监测 指向控制
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 544-550
• 页数: 7页
• 分类号: TN248.2|TP273
• 字数: 3327字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130604.0544

摘要

为了满足激光诱导等离子体(LPP)体制下极紫外(EUV)光源对CO2激光器提出的稳定性需求,建立了简化的CO2激光传输系统模型,根据光束稳定性需求对光束功率、指向和位置的监测与控制方法进行了理论和实验研究.根据高功率CO2激光传输系统特点,在实验室内建立了上述光束监测和控制实验系统,包括光束功率控制模块、光束指向控制模块和光束参数监测模块,其中光束参数监测模块可实时测量光束功率、指向、尺寸及发散角等重要参数.仿真与实验结果表明:光束功率控制模块对线偏振激光功率的控制接近1％ ～ 100％,光束指向控制模块实现的光束指向稳定度在10μrad以内,可满足CO2激光驱动源的高稳定性要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭劲	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室	155	1436	21.0	30.0
2	王挺峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室	78	435	12.0	17.0
3	姜振华	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激光与物质相互作用国家重点实验室	7	42	3.0	6.0