阳极离子束在SKD11和YG6基体上沉积DLC膜及其机理

• 作者: 于斌斌 汪振华 王飞 胡小秋 袁军堂
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 工学
• 关键词: 阳极离子束技术 类金刚石膜 结合强度 耐磨性
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 467-474
• 页数: 8页
• 分类号: TG174|TB383
• 字数: 4633字
• 语种: 中文

摘要

利用阳极离子束技术在SKD11型不锈钢和YG6硬质合金上沉积类金刚石( DLC)薄膜,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、Raman光谱分析薄膜微观结构和表面形貌；采用WS-2005型附着力划痕仪和洛氏压力机测试膜基结合强度；采用球磨仪测试膜层耐磨性能。结果表明：利用该技术所制DLC膜是一种非晶结构、表面平整的薄膜,粗糙度Ra 值仅为5.21nm。DLC/Cr/SKD11膜系Raman光谱ID/IG值(0.69)高于DLC/Cr/YG6膜系(1.54),说明SKD11高于YG6所制膜层的sp3C键含量；DLC/Cr/SKD11膜系结合强度(17.8 N)低于DLC/Cr/YG6膜系(39.2 N),且DLC/Cr/YG6膜系的洛氏压痕周围仅有放射状微细裂纹,而DLC/Cr/SKD11膜系的压痕周围存在膜层脱落现象；沉积在SKD11与YG6基体上DLC膜的单位磨损率分别为1.40E-4和8.81E-5,说明YG6基体上DLC膜层的耐磨性要优于SKD11基体上的DLC膜层。由此看出,不同基体上制备的DLC膜层微观结构不同,导致结合性能及耐磨性能不同。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪振华	南京理工大学机械工程学院	77	484	14.0	18.0
2	袁军堂	南京理工大学机械工程学院	113	706	14.0	19.0
3	胡小秋	南京理工大学机械工程学院	55	248	8.0	12.0
4	王飞	苏州大学物理科学与技术学院	41	173	8.0	10.0
5	于斌斌	南京理工大学机械工程学院	7	40	3.0	6.0