镍的电子束熔炼提纯研究

• 作者: 何金江 刘红宾 尚再艳 张涛 朱晓光 陈明
• 来源期刊: 稀有金属
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束 熔炼 高纯镍 提纯
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 116-122
• 分类号: TF804.8|TF815
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-7076.2013.01.022

摘要

高纯镍是制造半导体集成电路及微电子行业用电子薄膜材料的原材料.采用电子束熔炼方法制备高纯镍,研究了一次和二次电子束熔炼对高纯镍锭纯度、表面质量和内部铸造缺陷的影响.通过对铸锭宏观形貌的观察和杂质含量的化学分析,发现一次熔炼可将原材料提纯至99.99％,但铸锭仍存在较多宏观铸造缺陷;而二次熔炼充分去除了杂质和气体元素,如Al,Fe,Cu和C,N,O等,最终使镍锭纯度提高至99.995％以上且内部连续一致无集中缩孔、疏松和气孔等缺陷.通过对镍电子束熔炼过程中杂质元素和基体镍的蒸气压的理论计算对比,和对杂质去除率的理论计算,说明了杂质从镍基体分离的方式并验证了化学成分检测的杂质实际去除率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何金江		10	63	5.0	7.0
2	朱晓光		4	16	2.0	4.0
3	刘红宾		2	9	1.0	2.0
4	尚再艳		5	21	3.0	4.0
5	张涛		2	11	2.0	2.0
6	陈明		6	18	2.0	4.0