添加剂对纳米晶铜膜微观结构及纳米压痕性能的影响

• 作者: 李雪松 杨友 王立民
• 来源期刊: 电镀与环保
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米晶铜膜 微观结构 纳米压痕
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 电镀
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TQ153
• 字数: 1818字
• 语种: 中文

摘要

采用电刷镀技术制备不同晶粒尺寸的纳米晶铜膜.利用透射电子显微镜分析电刷镀纳米晶铜膜的微观结构,计算晶粒尺寸范围；利用UNMT-1型纳米力学综合测试系统对电刷镀纳米晶铜膜进行室温纳米压痕实验.由实验可知,添加剂对纳米晶铜膜的晶粒尺寸和压痕硬度均有较大的影响.在添加剂45 g/L务件下,平均晶粒尺寸最小为32 nm左右,压痕硬度为3.26 GPa;在添加剂1 g/L条件下,平均晶粒尺寸增大到150 nm左右,压痕硬度减小为1.72 GPa.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李雪松	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	47	304	10.0	14.0
3	杨友	长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室	34	186	9.0	12.0
4	王立民	长春应用化学研究所稀土资源利用国家重点实验室	4	9	2.0	3.0