一种新型MEMS加速度传感器的研制

• 作者: 孙幸成 杨要恩 王庆敏
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 交通运输
• 关键词: MEMS传感器 加速度 动态特性 电路设计
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 电子电路设计分析及应用
• 页码范围: 235-238
• 页数: 4页
• 分类号: U213.14
• 字数: 2979字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2013.02.022

摘要

针对传统机械类传感器体积比较大、耗电量高、长期监测稳定性差的不足,研发出一种新颖的基于MEMS(微机械加工)技术的无线传感器.分析了加速度传感器的检测原理,设计了信号检测模块、微控制器模块及无线收发模块等硬件集成电路,并进行了软件实现.设计实验系统对所研发的加速度传感器动态特性进行了研究,实验结果表明:该传感器在不同的加速度输入输出反复实验中,具有良好的线性响应,线性拟合度在0.999％F.S以上,重复稳定性好,动态响应快,适用于结构的低频振动测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王庆敏		23	130	7.0	11.0
3	杨要恩	石家庄铁路职业技术学院机电系	11	61	4.0	7.0
4	孙幸成		14	44	4.0	6.0