K9玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量

• 作者: 刘蕴锋 居志兰 戴子华 朱永伟 王建彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: K9玻璃 亚表面损伤 研磨 HF酸腐蚀 分步法
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 287-293
• 页数: 7页
• 分类号: TQ171.684
• 字数: 3394字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0287

摘要

为了消除HF酸差动腐蚀法测试中环境因素对测试精度的影响,提出了HF酸分步腐蚀法,并引入修正系数Ki来对不同腐蚀阶段的环境变化做适当的修正以提高测量精度.采用HF酸分步腐蚀法测量了固结磨料抛光垫(FAP)研磨后K9玻璃的亚表面损伤层深度,并与HF酸差动腐蚀速率法和磁流变抛光斑点法的测量结果进行了对比研究.结果显示,用本文提出的方法测量得到的亚表面损伤层深度为3.479 μm,其他两种测量方法测得的结果分别为0.837 μm和2.82 μm.测量结果表明,分步腐蚀法的测量精度更高,其结果更加符合实际情况.另外测试中引入了实验校正系数Ki,很大程度上减少了操作环境及重复操作带来的累积误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永伟	南京航空航天大学机电学院	128	1288	19.0	26.0
2	王建彬	南京航空航天大学机电学院	12	205	9.0	12.0
3	戴子华	南京航空航天大学机电学院	5	30	2.0	5.0
4	居志兰	南京航空航天大学机电学院	8	161	7.0	8.0
5	刘蕴锋	南京航空航天大学机电学院	6	60	4.0	6.0