单光源双光路激光并行共焦测量系统设计

• 作者: 余卿 余晓芬 崔长彩
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字微镜器件 微透镜阵列 泰伯效应 激光并行共焦测量系统
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 281-286
• 页数: 6页
• 分类号: TN247|TH703
• 字数: 2374字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132102.0281

摘要

针对传统激光并行共焦测量过程中存在的泰伯效应,提出将数字微镜器件(DMD)引入激光并行共焦测量系统来正确辨识正焦面的位置.采用了DMD作为光分束器件,从理论上验证了它是一种投影式的阵列光源,对激光分束后不会在光路方向上产生泰伯像；同时,考虑DMD不能对分束后的光线产生会聚作用,并非高效的并行光源分束器件,本文将DMD与微透镜阵列(MLA)结合构建了单光源双光路并行共焦测量系统.该系统利用DMD光路探测正焦面位置,利用微透镜阵列光路进行精确的共焦测量.实验结果表明,两种光路下的正焦面位置仅相差2 μm,在一个泰伯间距范围之内,可以较好地克服泰伯效应对激光并行共焦测量的影响,进而保证较高精度的并行共焦测量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学机电及自动化学院	55	459	12.0	20.0
2	余晓芬	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	97	756	14.0	22.0
3	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0