硅基热光、电光、全光开关及其阵列的研究进展*

• 作者: 余金中 俞育德 李显尧*
• 来源期刊: 物理
• 关键词: 光开关 硅光子学 绝缘层上的硅 光子集成
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 272-286
• 语种: 中文
• DOI: 10.7693/wl20130405

摘要

光开关在实现高速信息互连中扮演着重要的角色,受到人们的广泛关注.随着器件结构的不断创新以及半导体加工技术的不断改进,光开关的发展趋向于低功耗、高速和易集成等特点.文章介绍了功耗仅为540mW的热光开关,响应时间为4ns的电光开关和响应时间为25ps的全光开关,重点分析了这三种开关中存在的问题,并提出了解决方法,同时还探讨了开关在阵列化时应考虑的主要问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余金中	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	110	703	13.0	21.0
2	俞育德	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	9	43	3.0	6.0
3	李显尧*	中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室	1	0	0.0	0.0