基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究

• 作者: 孙天乐 孙强 钟彦儒 陈桂涛
• 来源期刊: 西安理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲电源 非对称 磁控溅射 高自由度
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 216-220
• 页数: 5页
• 分类号: TP313
• 字数: 2581字
• 语种: 中文

摘要

研究了基于FPGA的非对称双极脉冲电源,解决了磁控溅射工艺中遇到的共性问题,同时获得了优异的膜层性能和更宽的工艺范围.可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节.最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器.采用Altera 公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作为数字处理器实现了电源的数字控制,同时对后级脉冲变换环节实现高自由度控制,通过实验结果分析进一步验证了设计的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	西安理工大学自动化与信息工程学院	65	483	10.0	19.0
2	钟彦儒	西安理工大学自动化与信息工程学院	241	3752	34.0	50.0
3	陈桂涛	西安理工大学自动化与信息工程学院	25	70	4.0	6.0
4	孙天乐	西安理工大学自动化与信息工程学院	2	6	2.0	2.0