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摘要:
研究了基于FPGA的非对称双极脉冲电源,解决了磁控溅射工艺中遇到的共性问题,同时获得了优异的膜层性能和更宽的工艺范围.可以根据磁控溅射电源工艺需求对双向脉冲参数包括脉冲幅值、频率、占空比,以及正负向个数和正向脉冲与负向脉冲之间的换向时间等自由调节.最后设计了一个6 kW/100 kHz样机,前级采用两个独立的DC/DC变换器作为直流源,后级为一个非对称脉冲发生器.采用Altera 公司的FPGA(EP3C25Q240C8)作为数字处理器实现了电源的数字控制,同时对后级脉冲变换环节实现高自由度控制,通过实验结果分析进一步验证了设计的可行性.
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文献信息
篇名 基于FPGA的新型非对称双极脉冲磁控溅射电源的研究
来源期刊 西安理工大学学报 学科 工学
关键词 脉冲电源 非对称 磁控溅射 高自由度
年,卷(期) 2013,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 216-220
页数 5页 分类号 TP313
字数 2581字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 孙强 西安理工大学自动化与信息工程学院 65 483 10.0 19.0
2 钟彦儒 西安理工大学自动化与信息工程学院 241 3752 34.0 50.0
3 陈桂涛 西安理工大学自动化与信息工程学院 25 70 4.0 6.0
4 孙天乐 西安理工大学自动化与信息工程学院 2 6 2.0 2.0
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脉冲电源
非对称
磁控溅射
高自由度
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西安市金花南路5号
1978
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