GaN基LED的图形衬底优化研究

• 作者: 刘宝琴 张乾 曾祥华 王坚 范玉佩 顾长华
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氮化镓 发光二极管 极化效应 图形衬底 光提取效率
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 265-269
• 页数: 5页
• 分类号: TN312+.8
• 字数: 2977字
• 语种: 中文

摘要

设计了方形和阶梯状两大类的图形化蓝宝石衬底(PSS),使用Crosslight公司的工艺软件CSuprem建立了三维的方形和阶梯状两类图形衬底GaN LED器件,然后使用APSYS软件模拟计算出它们的光电特性.并且对方形图形衬底的刻蚀深度进行了优化,通过对模拟结果的比较得到刻蚀深度与边长的比值为0.4时,这种方形图形衬底GaN LED的光提取效率最高,且比平面衬底提高了20.13％.对阶梯状图形衬底的阶梯层数进行了比较,发现随着阶梯层数的增加,光提取效率也随着增加,阶梯状层数为5时,光提取效率比平面衬底提高了30.03％.并对方形PSSLED进行了实验验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾祥华	扬州大学物理科学与技术学院	57	143	6.0	10.0
2	范玉佩		1	0	0.0	0.0
3	顾长华		1	0	0.0	0.0
4	刘宝琴		1	0	0.0	0.0
5	王坚		9	7	2.0	2.0
6	张乾		5	3	1.0	1.0