采用杂多酸催化1,3,5-三(3′,3′,3′-三氟丙基)-1,3,5-三甲基环三硅氧烷的开环聚合反应,分别合成了低摩尔质量的羟基封端三氟丙基硅油、羟基封端三氟丙基甲基-二甲基硅油、羟基封端三氟丙基甲基-乙烯基甲基硅油。对3种羟基封端氟硅油的结构进行了表征,讨论了氟硅油的摩尔质量与黏度的关系。通过1 H NMR谱图计算出3种氟硅油的平均摩尔质量分别为642、613、657 g/mol,黏度分别为0.16、0.12和0.08 Pa?s。即在相近摩尔质量的情况下,三氟丙基的含量直接影响了氟硅油的黏度,同时甲基与乙烯基空间结构的不同也对氟硅油的黏度产生一定影响。