柔性基底上直流磁控溅射沉积金属铝膜的研究

• 作者: 周细应 李明 武晓南 毛秀娟 江强 言智
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 柔性基底 铝膜
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 67-70
• 分类号: TG174.444|O484
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射法在棉布、涤纶、芳纶织物上制备金属铝膜,研究了铝膜的沉积速率、组织结构和表面形貌.结果表明:在一定的范围内,沉积速率随溅射功率的增大近似呈线性增加,随溅射气压的增加先升后降；基底材料对铝膜的组织结构有较大影响,在涤纶和棉布上沉积的铝膜才呈现出典型的多晶态面心立方结构,在芳纶和涤纶上获得的铝膜较棉布上的铝膜更为均匀、致密；在一定范围内,溅射功率的增大有助于提高铝膜质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周细应	上海工程技术大学材料工程学院	114	777	15.0	25.0
2	言智	上海工程技术大学材料工程学院	14	89	5.0	9.0
3	毛秀娟	上海工程技术大学材料工程学院	7	41	5.0	6.0
4	江强	上海工程技术大学材料工程学院	7	59	5.0	7.0
5	李明	上海工程技术大学材料工程学院	14	38	3.0	6.0
6	武晓南	上海工程技术大学材料工程学院	1	7	1.0	1.0