酸碱复合催化溶胶-凝胶法制备SiO2减反膜及膜性能研究

• 作者: 张琳琳 徐勇 牛玉超 王孝丽 王献忠 窦雯雯 黄国威
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 酸碱复合催化 SiO2减反膜 透过率 表面形貌
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探索
• 页码范围: 63-66
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用酸催化法、碱催化法和酸碱复合催化法制备了SiO2溶胶,进而制得SiO2减反膜.表征了薄膜的表面形貌,测定了薄膜的透射率和硬度.结果表明,不同催化溶胶制得的膜层在表面形貌、减反效果和薄膜硬度等方面存在明显差异:酸催化得到的薄膜,孔隙率和透过率最低,但硬度和抗划伤性最好；碱催化得到的薄膜,孔隙率和透过率最高,但硬度和抗划伤性最差；酸碱复合催化得到的薄膜,孔隙率、透过率、硬度和抗划伤性能介于以上二者之间,性能与酸碱复合催化溶胶的制备工艺密切相关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛玉超	山东建筑大学材料科学与工程学院	30	192	8.0	12.0
2	王献忠	山东建筑大学材料科学与工程学院	20	90	6.0	8.0
3	徐勇	山东建筑大学材料科学与工程学院	16	49	4.0	6.0
4	黄国威	山东建筑大学材料科学与工程学院	3	14	3.0	3.0
5	张琳琳	山东建筑大学材料科学与工程学院	5	19	2.0	4.0
6	窦雯雯	山东建筑大学材料科学与工程学院	1	6	1.0	1.0
7	王孝丽	山东建筑大学材料科学与工程学院	3	15	3.0	3.0