氮气流量对磁控溅射TiN膜层色泽的影响

• 作者: 刘野 吕长东 薛利 许世鹏 黄关东
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: TiN薄膜 磁控溅射 装饰镀 色泽 氮气
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 新技术新工艺
• 页码范围: 5-6,12
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1451字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2013.03.002

摘要

在国产SA-6T型离子镀膜机上利用反应直流溅射方法,在抛光后的W18Cr4V高速钢基体表面制备TiN膜层,考察氮气流量对薄膜色泽的影响.用扫描电镜对薄膜表面形貌进行观测,发现沉积的TiN膜层质量良好,无孔洞,表面平整、致密.采用色度计定量测试了TiN薄膜的色泽,并分析了氮气流量对色泽的影响.结果表明,氮气流量即沉积气压对装饰镀TiN薄膜的颜色有重要影响,通过调节氮气流量,可有效改变TiN膜层的色泽.TiN薄膜的颜色随氮气流量增大而加深.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕长东	天津师范大学物理与电子信息学院	3	10	2.0	3.0
2	黄关东	天津师范大学物理与电子信息学院	1	6	1.0	1.0
3	刘野	天津师范大学物理与电子信息学院	10	48	5.0	6.0
4	许世鹏	天津师范大学物理与电子信息学院	5	30	5.0	5.0
5	薛利	天津师范大学物理与电子信息学院	6	33	5.0	5.0