基于对称判据的白光干涉零光程位置拾取算法

• 作者: 杨远洪 秦开宇 蒋大钢
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉 数据处理 精密测量
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: ?光电测量与检测?
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TN929.1
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2013.10.001

摘要

高性能白光干涉测量技术的发展对零光程位置精确拾取提出了更高的要求。基于白光干涉光强对称分布特点设计了对称性判据，并根据此判据和实际采样数据的离散性，提出了一种白光干涉零光程位置拾取算法。算法分为两步：首先，从数据中寻找最大测量峰值，然后搜索最大峰值附近的子峰，利用对称性判据及其变化趋势来确定最接近的零光程位置的子峰；接着，由于采样点的离散性，需要进一步对搜寻到的子峰进行局部数据拟合，通过拟合峰值最终确定零光程干涉峰值和零光程位置。此时对称性判据还可用于评估零光程拟合位置与真实位置间距。通过实测数据处理和算法对比实验表明：该算法能够进一步提高零光程位置辨别能力和拾取精度，保障高性能白光干涉测量设备的超精密测试需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦开宇	电子科技大学航空航天学院	155	829	16.0	21.0
2	杨远洪	北京航空航天大学仪器科学与工程学院	66	285	9.0	14.0
3	蒋大钢	电子科技大学航空航天学院	11	61	4.0	7.0