采用改进型多弧离子镀膜设备镀制装饰膜层的研究

• 作者: 朱元义 朱元术 朱常锋 李力
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 二氧化钛 大颗粒
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

针对目前国内多弧离子镀膜领域存在的智能化水平不高和大颗粒污染问题,我们通过设备改进,增加了可编程逻辑控制器和磁过滤器.以装饰镀膜中常用的二氧化钛膜为研究对象,对比了设备改进前后膜层的性能.X射线衍射测试表明所制备的二氧化钛膜层为金红石相.改进后的设备制备的膜层基本看不到大颗粒的存在,且膜层的绿色更加鲜艳.同时,由于设备的智能化水平提高,使得产品的性能非常稳定,随机抽取的5个样品不论从外观看还是通过反射率测试,性能几乎一样.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李力		9	75	3.0	8.0
2	朱元义		1	2	1.0	1.0
6	朱常锋		2	5	2.0	2.0
7	朱元术		1	2	1.0	1.0