声表面波气体传感器研究进展

• 作者: 何世堂 刘明华 李顺洲 潘勇 王文 谢晓
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波化学传感器 响应机理 振荡器 检测下限
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 气体传感器研究进展专题
• 页码范围: 9-13
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2210字
• 语种: 中文

摘要

从机理模型构建、物理功能结构优化两方面出发对覆盖聚合物敏感膜的高性能声表面波(SAW)气体传感器技术进行了研究和探讨.实验研制了一种以具有高频率稳定性的声表面波延迟线型振荡器为传感元,结合六氟异丙醇基聚硅氧烷敏感膜的SAW传感器,开展了针对DMMP的检测实验,检测下限与检测灵敏度分别达到了0.04 mg/m3和485 Hz/mg/m3.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘勇		50	332	9.0	15.0
2	王文	中国科学院声学研究所	81	464	12.0	18.0
3	何世堂	中国科学院声学研究所	74	236	8.0	12.0
4	李顺洲	中国科学院声学研究所	10	96	6.0	9.0
5	刘明华	中国科学院声学研究所	16	84	6.0	9.0
6	谢晓	中国科学院声学研究所	5	16	3.0	4.0