π形梁厚膜压阻式加速度传感器研究与设计

• 作者: 任忠原 姚子龙 杨熹 马长宝
• 来源期刊: 浙江师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 陶瓷 厚膜 压阻 π形梁 加速度传感器
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 172-175
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2413字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种新型的基于陶瓷基片加工工艺的π形梁15 000 m/s2厚膜压阻式加速度传感器.在加工过程中采用厚膜工艺与梁加工成型工艺,从而保证了梁结构的完整性.分析了该传感器的结构参数和灵敏度,同时介绍了其工艺流程及封装后的测试结果.基片尺寸为15 mm×6 mm×1 mm,其中敏感质量块尺寸为6m×6mm×1 mm,梁尺寸为3 mm ×6 mm×0.3mm.经初步测试,在采用12 V电源供电时灵敏度为0.002 4mVs2/m左右,响应频率为1.29 kHz.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨熹		1	2	1.0	1.0
2	任忠原		1	2	1.0	1.0
3	马长宝		1	2	1.0	1.0
4	姚子龙		1	2	1.0	1.0