采用真空磁控反应溅射和沸水氧化法制备Al2O3增透膜

• 作者: 池华敬 熊凯 王双 章其初 许丽 郭帅 陈革
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 增透膜 反应溅射 沸水氧化 氧化铝 低铁玻璃
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

在玻璃基片上采用金属Al靶在溅射气体Ar和反应气体O2的混合气体中,真空磁控溅射半透明的Al-Al2O3金属陶瓷薄膜,再将沉积薄膜的玻璃基片浸入沸腾的去离子水中氧化,制备成陶瓷增透膜.优化镀膜工艺和沸水氧化时间,在3.2 mm厚的低铁玻璃载片上单面沉积的增透膜的太阳透射比Te由未镀膜原片的90.4％增加到93.9％,提高了3.5％,可见光透射比Tv由91.6％增加到95.5％,提高了3.9％.双面沉积增透膜玻璃载片的Te达到96.2％,增加了5.8％,Tv达到97.2％,增加了5.6％.经过400℃高温持续40 min烘烤后膜层的光学性能基本不变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	池华敬	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	14	44	5.0	6.0
2	郭帅	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	10	14	2.0	3.0
3	陈革	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	18	123	5.0	11.0
4	王双	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	13	44	5.0	6.0
5	熊凯	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	4	11	2.0	3.0
6	许丽	皇明太阳能股份有限公司镀膜研发中心	2	5	1.0	2.0