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摘要:
利用MEMS工艺制备了基于SOl的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系.研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0 239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高.设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性.
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文献信息
篇名 SOI多环级联光学谐振腔滤波器
来源期刊 发光学报 学科 物理学
关键词 光波导 多环级联 滤波器 滚降垂直度
年,卷(期) 2013,(5) 所属期刊栏目 发光学应用及交叉前沿
研究方向 页码范围 645-649
页数 5页 分类号 O436
字数 1406字 语种 中文
DOI 10.3788/fgxb20133405.0645
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研究主题发展历程
节点文献
光波导
多环级联
滤波器
滚降垂直度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
发光学报
月刊
1000-7032
22-1116/O4
大16开
长春市东南湖大路16号
12-312
1970
chi
出版文献量(篇)
4336
总下载数(次)
7
总被引数(次)
29396
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
山西省自然科学基金
英文译名:Shanxi Natural Science Foundation
官方网址:http://sxnsfc.sxinfo.gov.cn/sxnsf/index.aspx
项目类型:
学科类型:
论文1v1指导