SOI多环级联光学谐振腔滤波器

• 作者: 冯薪霖 张文栋 王晓倩 薛晨阳 赵宇 闫树斌 马可贞
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光波导 多环级联 滤波器 滚降垂直度
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 发光学应用及交叉前沿
• 页码范围: 645-649
• 页数: 5页
• 分类号: O436
• 字数: 1406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20133405.0645

摘要

利用MEMS工艺制备了基于SOl的小尺寸、高集成光波导多环级联谐振腔滤波器,理论分析了多环级联微环腔的光场传输特性与光谱响应特性,实验验证并得到了不同级联环数与谐振谱线滚降垂直度的关系.研究表明:当波导宽度为450 nm、半径为5μm时,单环、双环和十环滤波器响应谱线的-3 dB带宽分别为0.313,0.279,0 239 nm,相应结果与理论吻合,即随着级联环数的增多,谐振谱线顶端趋于平坦,滚降垂直度增高.设计制备了环形与跑道形两种级联谐振腔滤波器,研究了相应的透射谱特性.