微机械热对流加速度传感器的频响特性及补偿

• 作者: 张旭辉 徐爱东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 加速度传感器 热对流 有限元仿真 频率响应 频率补偿
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 310-315
• 分类号: TH703|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.05.008

摘要

在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上,对传感器的瞬态响应进行了分析,建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型.结合有限元仿真结果,模型预测的热对流加速度传感器的频响与实际的传感器的频响较好地吻合.设计了传感器频率补偿电路,讨论了电路参数优化的途径,通过电路仿真方法得到优化的电路参数,仿真得到的补偿之后-3 dB带宽为112.5 Hz,构筑了传感器频率补偿电路并对补偿效果进行测试.结果表明:补偿之前-3 dB带宽为22.6 Hz,补偿之后实测-3 dB带宽拓展为106.0 Hz,与仿真结果基本吻合,成功将传感器频响扩展到100 Hz以上,满足应用的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭辉	中国电子科技集团公司第十三研究所	4	7	2.0	2.0
2	徐爱东	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	62	4.0	7.0