衬底温度对电子束蒸发ZnS薄膜结构和光学特性的影响

• 作者: 付蕊 化麒麟 涂洁磊
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束蒸发 ZnS薄膜 衬底温度 微结构 光学特性
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1366-1370
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2400字
• 语种: 中文

摘要

采用电子束蒸发法在不同衬底温度下,150℃、200℃、250℃和300℃,制备了ZnS薄膜；用X射线衍射仪、原子力显微镜、膜厚仪和紫外-可见光-近红外分光光度计分别表征ZnS薄膜的晶体结构、表面形貌和光学特性；并分析了不同衬底温度对薄膜的结构和光学特性的影响.结果表明:在硅衬底上制备的ZnS都为多晶薄膜,具有闪锌矿β-ZnS结构；随衬底温度升高呈(111)晶面高度择优取向,平均晶粒尺寸有所增大,内应力、位错密度、折射率和吸收系数有所减小,禁带宽度随之增大；衬底温度为300℃时制备的薄膜表面均匀致密,呈现较优的结构和光学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	涂洁磊	云南师范大学太阳能研究所	26	67	5.0	6.0
2	付蕊	云南师范大学太阳能研究所	5	20	3.0	4.0
3	化麒麟	云南师范大学太阳能研究所	6	21	3.0	4.0