基于FIB的微观变形载体制作技术研究及应用

• 作者: 朱建国 李艳杰 王庆华 谢惠民
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 物理学
• 关键词: 变形载体 聚焦离子束 残余应力 光测力学
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 页码范围: 151-157
• 分类号: O348.1|O343.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.7520/1001-4888-12-119

摘要

变形载体包括光栅、散斑和标记点等,是光学变形测量时的重要载体,关系到测试的成败.基于聚焦离子束(FIB)微加工平台和技术,介绍了微观变形载体的设计、制作方法、程序等要点,并且利用FIB刻蚀微型孔、槽等实现材料表面微观残余应力的测量.分析和讨论了FIB制作变形载体对原有结构的影响和由此引起的残余应力测试误差.结果表明,FIB刻蚀作为一种新型的直写微纳米加工技术,结合高倍显微镜对视场的切换,可以在关键微区准确定位,并制作变形载体和实现变形测量,尤其对残余应力的测量特别有效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢惠民	清华大学航天航空学院应用力学教育部重点实验室	59	1120	14.0	32.0
2	李艳杰	清华大学航天航空学院应用力学教育部重点实验室	3	99	3.0	3.0
3	朱建国	清华大学航天航空学院应用力学教育部重点实验室	26	120	6.0	9.0
5	王庆华	清华大学航天航空学院应用力学教育部重点实验室	3	20	3.0	3.0