矩形压缩谐振腔内基底对电场影响的仿真模拟

• 作者: 刘繁 李国伟 汪建华 马志斌
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 谐振腔 高频结构仿真器 基底尺寸 电场模拟
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: O411.3
• 字数: 1882字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2013.01.011

摘要

针对微波等离子体化学气相沉积金刚石过程中,矩形谐振腔中激发的等离子体稳定性和均匀性差的问题,提出通过用Ansoft软件对矩形压缩谐振腔进行模拟计算来优化设计谐振腔的方法.模拟中,假设除了微波输入端口以外,所有的边界都定义为理想电导体；微波能以平面波的形式,通过矩形波导被耦合到微波谐振腔内；再用高频结构仿真器联合求解满足模型条件的麦克斯韦方程组,得出谐振腔中的电场分布结果.分别模拟了基底深入谐振腔内高度为1.5、2、2.5、3、4 mm和基底半径为11、13、15、17 mm时,腔体内的电场分布.数值模拟结果表明,压缩谐振腔内的最大电场强度为817 V/m左右,较压缩之前的电场强度增高了近一倍,且基底深入谐振腔高度为2 mm,基底半径为13 mm左右时,装置内电场强度较集中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	马志斌	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
3	刘繁	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	22	74	4.0	8.0
4	李国伟	武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	5	10	2.0	3.0