贫氢富氩气氛下超纳米金刚石薄膜的生长

• 作者: 刘杰 吕反修 唐伟忠 李成明 陈广超 黑立富
• 来源期刊: 新型炭材料
• 学科: 工学
• 关键词: 超纳米金刚石薄膜 氢气浓度 晶粒粒径
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 134-139
• 页数: 6页
• 分类号: TQ127.1+1
• 语种: 中文
• DOI: 10.1016/S1872-5805(13)60072-4

摘要

利用微波等离子气相沉积法在5％ ～20％的氢气浓度下,制备出了超纳米金刚石薄膜(UNCD).利用扫描电子显微镜、XRD、表面轮廓仪及拉曼光谱研究了氢气浓度对超纳米金刚石薄膜的微结构、形貌、以及相组成的影响.结果表明,随着氢气浓度的增加,晶粒粒径及粗糙度都明显增加变大;在不大于10％的氢气浓度气氛下,可以发现晶粒粒径下降到6nm,甚至更低;即便氢气浓度达到20％,晶粒粒径仍然小于10rm.讨论了在富氩气氛下沉积的UNCD的实验结果以及沉积机制.这种极其光滑的UNCD薄膜有望在医疗,声表面波器件以及微机电系统,尤其是在重载和恶劣环境下作为超级密封材料的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
3	陈广超	北京科技大学材料科学与工程学院	27	235	9.0	14.0
4	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
5	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
6	刘杰	北京科技大学材料科学与工程学院	40	310	11.0	16.0