石英微机械陀螺抗高冲击能力的优化研究

• 作者: 周倩 李文蕴 林日乐 满欣 谢佳维 赵建华
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 石英 微机械 陀螺 抗高冲击 优化
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 惯性技术
• 页码范围: 56-58
• 页数: 3页
• 分类号: TN249|V249
• 字数: 923字
• 语种: 中文

摘要

石英微机械陀螺敏感芯片通常为一体式音叉结构,为实现特定的功能,常在芯片中设计开槽结构,开槽拐角处是应力集中的部位.在高冲击情况下,该部位的最大应力可能先达到石英晶体的屈服强度,导致芯片结构断裂损坏.通过在敏感芯片的开槽结构末端设计圆弧台阶结构,降低了该部位在高冲击环境下受到的最大应力,提高了敏感芯片的抗冲击性能.通过综合优化后,石英微机械陀螺的抗高冲击能力可达到10000g,并保持了较好的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周倩		8	29	3.0	5.0
2	满欣		7	21	3.0	4.0
3	林日乐		5	15	2.0	3.0
4	李文蕴		6	18	3.0	4.0
5	谢佳维		4	13	2.0	3.0
6	赵建华		3	10	2.0	3.0