数字光刻缩微投影系统物镜的设计

• 作者: 刘丽霞 刘志涛 刘海勇 周金运 郭华 雷亮
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 所属期刊栏目: ?光学设计?
• 页码范围: 57-62
• 页数: 6页
• 分类号: TH702
• 字数: 2787字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2013.07.010

摘要

针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统，提出并设计了一种适用于0.7XGA 型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光刻缩微投影物镜。通过优化和拼接三片式物镜结构，得到数值孔径NA=0.1，放大倍率为-0.2558，分辨力达3.5μm，不受DMD栅格效应影响且达到衍射极限的缩微物镜。经过Zemax软件模拟得到其全视场光程差小于λ/5，145 cycles/mm处的调制传递函数(MTF)大于0.58，充分说明该缩微物镜已经达到光刻物镜设计要求。利用Monte Carlo分析方法，模拟加工装配了100组镜头，设定空间频率为145 cycles/mm时，90%的镜头FMTF>0.55，验证了加工装配实际可行。