溅射功率对钛镓共掺杂氧化锌透明导电薄膜光电性能的影响

• 作者: 张腾 汪浩 钟志有
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌薄膜 溅射功率 结晶质量 电阻率 透过率
• 年，卷（期）: 2013,（7）
• 页码范围: 1353-1359
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 字数: 4034字
• 语种: 中文

摘要

以ZnO∶Ga2O3∶TiO2(97wt％∶1.5wt％∶1.5wt％)陶瓷靶作为溅射源,采用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了钛镓共掺杂氧化锌(TGZO)透明导电薄膜,通过X射线衍射仪、四探针仪和分光光度计测试表征,研究了溅射功率对TGZO薄膜晶体结构、电学性质和光学性能的影响.结果表明:所有TGZO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且具有(002)择优取向,溅射功率对薄膜性能具有明显的影响.当溅射功率为200 W时,TGZO薄膜的结晶质量最好、电阻率最低、平均可见光透射率最高,品质因数最大(1.22×10-2 Ω-1),其光电综合性能最佳.另外,通过光谱拟合方法研究了溅射功率对TGZO薄膜折射率和消光系数的影响,并利用Tauc关系式计算了样品的光学能隙.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	钟志有	中南民族大学电子信息工程学院	67	360	11.0	14.0
5	汪浩	中南民族大学电子信息工程学院	7	56	5.0	7.0
6	张腾	中南民族大学电子信息工程学院	6	50	5.0	6.0