真空度对泡生法蓝宝石晶体生长环境的影响

• 作者: 于永芹 刘世全 刘丽君 张东平 徐家庆
• 来源期刊: 深圳大学学报（理工版）
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石晶体 泡生法 真空度 钨钼材料氧化 晶体生长 熔体蒸发 LED衬底材料
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 404-408
• 页数: 5页
• 分类号: TB79|TB39
• 字数: 4677字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1249.2013.04404

摘要

指出对泡生法蓝宝石晶体生长,无需采用过高的真空度.炉内真空度达10-1 Pa级时,进一步提高真空度对长晶炉热效率影响不大,较低的真空度有利晶体在出炉前低温段的冷却.研究表明,尽管高真空度可以有效防止热场中钨/钼材料的氧化,但真空度过高容易导致钨钼材料的升华损耗；真空度越高,原料三氧化二铝熔体蒸发越甚,导致热场零部件污染越严重,从而缩短热场零部件的使用寿命；采用惰性气体保护可以在较低真空度下防止热场中钨钼件氧化,同时抑制熔体蒸发、保持热场洁净并延长热场使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘丽君	深圳大学物理科学与技术学院	5	17	3.0	4.0
2	于永芹	深圳大学物理科学与技术学院	21	238	10.0	15.0
3	张东平	深圳大学物理科学与技术学院	7	53	5.0	7.0
4	徐家庆		1	6	1.0	1.0
5	刘世全		1	6	1.0	1.0