一种220 GHz滤波器的设计

• 作者: 吴中川
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 滤波器 电感膜片 集成电路
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 355-358
• 页数: 4页
• 分类号: TN713+.5
• 字数: 1337字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201303.0355

摘要

基于电感膜片矩形波导滤波器设计方法和加工流程，设计了一个220 GHz 带通滤波器。滤波器采用玻璃片—硅片—陶瓷片结构，由硅片形成电感膜片结构，玻璃片、陶瓷片键合在硅片上形成闭合的谐振腔，采用集成电路的制作工艺，在加工前分析了工艺特性，优化了滤波器尺寸，避免工艺对滤波器关键尺寸的影响。采用信号源、功率计进行测试，测试结果表明，滤波器在220 GHz具有通带特性，带内损耗约为7 dB。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴中川		4	16	3.0	4.0