单镜头激光三角法薄板厚度测量研究

• 作者: 汪琛 赵斌
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 激光测厚 重心法 分辨率
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 6-10
• 页数: 5页
• 分类号: TN247|TH744.5
• 字数: 2706字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.002

摘要

为了精确测量薄板类材料的厚度,分析了双光路激光三角法测厚原理,建立了一种单镜头激光三角法厚度测量系统.该系统以半导体激光器为光源,配以单镜头成像系统、图像采集与数据处理系统.描述了系统的检测原理、检测方法和实验装置,讨论了激光器光束轴心线与成像透镜光轴夹角与系统分辨率的关系,并基于最小二乘法拟合得出了光斑距离与被测物厚度的函数关系式,最后通过标定实验对系统精度进行了实验论证.结果表明,该系统消除了双光路激光三角法上下测量系统难以同步的问题,分辨率高,精度控制在10μm,良好地满足了工业测量的需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵斌	华中科技大学机械科学与工程学院测控装备研究所	50	329	11.0	14.0
2	汪琛	华中科技大学机械科学与工程学院测控装备研究所	2	24	2.0	2.0