PCVD直流脉冲沉积温度对TiN/TiSiN复合涂层高温氧化性能的影响

• 作者: 丁武成 刘岁林 宋之敏 曾天 李洪林 郑淑萍 韩纪梅 高见
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/TiSiN涂层 高温氧化 微观结构 表面形貌
• 年，卷（期）: 2013,（12）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 3793字
• 语种: 中文

摘要

采用工业用直流脉冲等离子体增强化学气相沉积(PCVD)法在硬质合金刀具材料上制备了TiN/TiSiN复合涂层.对比研究了TiN及不同温度制备的TiN/TiSiN复合涂层高温抗氧化性能.研究表明:含有非晶阻隔抗氧化结构Si3Nx的TiN/TiSiN复合涂层高温氧化性能远高于TiN涂层,TiN/TiSiN复合涂层提高到800℃,仍可避免出现较大面积氧化及脱落;PCVD直流脉冲沉积制备温度对涂层高温抗氧化能力有重要影响,550℃沉积制备的致密、均匀、颗粒小的复合涂层高温氧化性能最佳,600℃次之,500℃最差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高见	成都工具研究所有限公司	15	224	8.0	14.0
2	宋之敏	四川大学分析测试中心	25	134	6.0	10.0
3	曾天	四川大学材料科学与工程学院	4	3	1.0	1.0
4	韩纪梅	四川大学材料科学与工程学院	6	32	2.0	5.0
5	李洪林	成都工具研究所有限公司	8	56	3.0	7.0
6	丁武成	四川大学材料科学与工程学院	4	7	2.0	2.0
7	刘岁林	四川大学分析测试中心	6	93	3.0	6.0
8	郑淑萍	四川大学分析测试中心	2	0	0.0	0.0