射频同轴传输线的设计仿真与加工工艺

• 作者: 吴淑娟 张勇 张斌珍 范新磊 郝晓剑
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 同轴传输线 光刻 电镀 SU-8光刻胶 BPN光刻胶
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 397-402
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.06.012

摘要

基于SU-8和BPN紫外负性感光胶,结合微电镀工艺加工制作射频同轴传输线,以实现射频器件信号的传输与耦合.首先确定在阻抗匹配情况下同轴传输线特性阻抗为50 Ω的同轴传输线的具体尺寸,然后通过HFSS仿真软件对设计的结构进行模拟仿真.通过仿真结果验证设计的可行性,采用紫外光刻技术利用SU-8光刻胶做出内导体支柱,并用BPN光刻胶做出结构,对结构进行电镀.最后将BPN光刻胶剥离,即可得到射频同轴传输线.此方法制得的同轴传输线具有介质损耗小、辐射损耗小、无色散、带宽大和抗干扰强的优点,适用于高性能射频和微波电路.另外,它的制作工艺能与其他射频和微波器件及集成电路工艺兼容,便于与射频和微波电路集成.