TC4钛合金表面磁控溅射 TiAlN 涂层的组织与性能

• 作者: 刘啸锋 潘晓龙 王少鹏
• 来源期刊: 钛工业进展
• 关键词: TC4钛合金 TiAlN涂层 磁控溅射 耐蚀性 耐磨性
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 研发与应用
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 字数: 2331字
• 语种: 中文

摘要

采用TiAl合金靶材，在TC4钛合金基材表面以不同磁控溅射工艺沉积制备了TiAlN涂层。利用扫描电子显微镜（ SEM）、能谱仪（ EDS）、 X射线衍射仪（ XRD）分别分析了不同工艺制备的TiAlN涂层的表面形貌、表面成分及相结构，并对TiAlN涂层的耐蚀性、耐磨性等进行了研究。结果表明，采用磁控溅射工艺可在TC4钛合金表面制备出表面相对平整且结构致密的TiAlN涂层；沉积了TiAlN涂层的TC4钛合金试样的表面性能得到了提高，其磨损失重量和TC4钛合金基材相比降低了80％，耐盐雾腐蚀性能达到了保护级9级。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘啸锋		17	137	7.0	11.0
2	潘晓龙		14	117	7.0	10.0
3	王少鹏		30	200	9.0	12.0