MEMS薄膜泊松比测试方法的研究进展

• 作者: 周再发 李伟华 王雷
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 薄膜 泊松比 在线测试 测试方法
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 391-396
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.06.011

摘要

综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义.结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种测试方法的发展过程,并分析了各种测试方法在使用中所面临的关键问题.最后,从可操作性、精确度和适用范围等方面比较了各种方法的优劣,给出了测试方法选取的建议,并对MEMS薄膜测试技术的发展进行了展望,指出在线测试技术将推动MEMS薄膜测试技术的进一步发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王雷	东南大学电子科学与工程学院	49	535	15.0	22.0
2	周再发	东南大学电子科学与工程学院	4	8	2.0	2.0
3	李伟华	东南大学电子科学与工程学院	13	76	5.0	8.0