热释电探测器PZT晶片制备工艺研究

• 作者: 余瑞云 王学森 王羽 袁俊 郭雨航 黄江平
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热释电探测器 锆钛酸铅(PZT)材料 PZT晶片 研磨抛光
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 368-372
• 页数: 5页
• 分类号: TN215
• 字数: 3001字
• 语种: 中文

摘要

介绍了热释电探测器PZT晶片制备工艺及选择锆钛酸铅（PZT）陶瓷材料制作敏感元的理论依据，阐述了晶片磨抛理论，对磨抛质量影响因素进行了细致分析。对比了几种抛光液对晶片表面的抛光效果，并进行了扫描电镜和表面粗糙度分析，得到了抛光后晶片表面的扫描电子显微镜（SEM）照片和晶片表面形态，确定了最佳抛光材料。通过理论和实践的结合，研制出了完全能满足器件工艺要求的热释电探测器晶片。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄江平		12	58	5.0	7.0
2	王羽		5	8	2.0	2.0
3	袁俊		14	59	5.0	7.0
4	王学森		1	4	1.0	1.0
5	郭雨航		2	4	1.0	2.0
6	余瑞云		1	4	1.0	1.0