基于微纳米金刚石过渡层的cBN刀具涂层制备

• 作者: 左敦稳 张旭辉 张骋 徐锋 户海峰 王珉
• 来源期刊: 南京航空航天大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 立方氮化硼 刀具涂层 磁控溅射 微纳米金刚石 过渡层
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 43-48
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 字数: 4534字
• 语种: 中文

摘要

立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,cBN)是仅次于金刚石的超硬材料,比金刚石具有更高的化学稳定性,可以胜任铁系金属的加工.本文在YG6硬质合金上基于微纳米金刚石过渡层开展cBN涂层的制备研究.本文在热丝化学气相沉积系统中制备微纳米金刚石过渡层(Micro/nanocrystalline diamond,M/NCD),在射频磁控溅射系统中制备cBN涂层,并对M/NCD与cBN涂层进行了成分、微观形貌与结合性能的研究.研究结果发现,在硬质合金基体上,M/NCD过渡层的结合性能明显优于NCD过渡层.磁控溅射制备cBN涂层过程中,存在适合cBN沉积的衬底偏压阈值,过高或过低的衬底偏压均不利于cBN含量的提高.