人工干预二次形核研究

• 作者: 刘力 姜宏伟 孔德贵 张艳萍 王军 祁文涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 化学
• 关键词: 人工干预二次形核 纳米金刚石膜 直流热阴极PCVD
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 纳米材料
• 页码范围: 79-83
• 页数: 5页
• 分类号: O613.71|TQ163
• 语种: 中文

摘要

采用直流热阴极PCVD技术,在CH4-H2气氛常规制备微米晶金刚石膜的参数条件下,通过人工干预实现二次形核,制备纳米晶金刚石膜.金刚石膜周期性生长过程分为沉积阶段和干预阶段,沉积阶段时间为20 min,干预阶段将沉积温度降低到600℃,时间为1 min,然后恢复到生长温度,一个生长周期为21 min,总的沉积时间为6h.实验分为高、低气压和高、低温度的四种组合,并与连续生长模式进行了对比.采用拉曼光谱仪、SEM对样品进行了分析,除高气压和高温度条件外,其它三组实验的金刚石膜的1332 cm-1拉曼峰展宽明显、金刚石膜晶粒小于100 nm,样品都具有纳米晶特征.结果表明直流热阴极PCVD技术的人工干预方法,可以导致金刚石膜生长过程的二次形核行为发生,制备出纳米金刚石膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张艳萍	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室	14	139	4.0	11.0
2	姜宏伟	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室	29	46	3.0	5.0
3	祁文涛	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室	6	19	2.0	4.0
4	刘力	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室	7	24	2.0	4.0
5	孔德贵	牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室	1	1	1.0	1.0