高速原子力显微术研究进展

• 作者: 商广义 蔡微 赵剑勇
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 高速原子力显微成像 动态过程观测
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 81-89
• 页数: 9页
• 分类号: TG115.21+5.7
• 字数: 6338字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.1000-6281.2013.01.014

摘要

自1986年发明原子力显微镜以来,它已成为材料、生物以及纳米科技等许多领域的重要工具.由于常规原子力显微镜成像速度缓慢,在动态过程观测、工业生产线原位测量以及高密度信息存储等领域的应用受到限制,因此发展高速原子力显微术近年来已引起国内外的高度关注.本文综述了高速原子力显微术关键技术(包括:微小探针、高速扫描器设计和控制方法)以及应用等方面的最近进展.