6-PSS型光学元件精密轴向调节机构

• 作者: 巩岩 郭抗
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻物镜 光学元件 调节机构 并联机构 一体化结构 6-PSS
• 年，卷（期）: 2013,（10）
• 所属期刊栏目: 维纳技术与精密机械
• 页码范围: 2648-2655
• 页数: 8页
• 分类号: TP273|TH703
• 字数: 3251字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132110.2648

摘要

设计了一种采用6-PSS型并联机构的光学元件精密轴向调节机构,以使光刻物镜中光学元件的调节行程达微米级,调节精度达纳米级.将6-PSS型并联机构中的6个移动副改进为3个,减少了驱动器的使用数量,提高了轴向调节机构的可靠性;设计了一种圆角薄柔性铰链结构作为6-PSS型并联机构中的球铰副,实现了轴向调节机构的结构一体化,简化了光机组件的装调过程,提高了机构的机械精度;利用空间矢量法分析了机构输入构件与输出构件之间的位置关系,推导出了机构的传动比表达式,为机构主要结构尺寸的选取提供了依据.轴向调节机构的验证试验结果表明:机构传动比的理论计算值接近于实测值;轴向调节机构的调节行程为74.4 μm,调节精度在40 nm以内,满足光刻物镜中光学元件轴向调节机构的使用需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
2	郭抗	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	10	63	4.0	7.0