硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器

• 作者: 徐永青 李倩 杨志 杨拥军 胡小东
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统(MEMS) 滤波器 毫米波 双层 基片集成波导(SIW)
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 376-379,390
• 分类号: TH703|TN713
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2013.06.008

摘要

基于MEMS工艺设计并制作了一种小型化毫米波滤波器,该滤波器采用硅基双层SIW的结构形式.理论分析计算了滤波器的结构参数,并使用三维电磁场分析软件HFSS对该结构进行了模拟仿真.设计得到了中心频率f0为31.2 GHz、插入损耗为1.1 dB、1 dB带宽大于1 GHz、中心频率f0±3 GHz处抑制大于40 dB、芯片尺寸为4.6 mm×3.1 mm×0.8 mm的MEMS毫米波滤波器.给出了一套基于MEMS工艺的双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的制作流程,实现了硅基双层SIW结构毫米波MEMS滤波器的工艺制作及测试.测试结果表明,获得的MEMS毫米波滤波器的测试结果与仿真结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐永青	中国电子科技集团公司第十三研究所	11	118	5.0	10.0
2	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0
3	杨志		9	50	4.0	7.0
4	李倩		3	10	1.0	3.0
5	胡小东		1	9	1.0	1.0