透射电子显微镜在微纳米电子学的应用

• 作者: Alain Claverie 杜利东
• 来源期刊: 国外科技新书评介
• 学科: 工学
• 关键词: 透射电子显微镜 纳米电子学 应用 电子束 紫外光 可见光 波长 平方根
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 页码范围: 15-16
• 页数: 2页
• 分类号: TN141.32

摘要

1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜（TEM），电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短，目前TEM的分辨力可达0．2nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜利东	中国科学院电子学研究所	63	104	7.0	8.0