纳米时栅传感器数字信号处理系统设计

• 作者: 于治成 冯济琴 凌旭 蒲红吉 郑方燕
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米测量 时栅 内插法 可编程片上系统 信号处理
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 1548-1551
• 页数: 4页
• 分类号: TP274
• 字数: 1877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2013.11.015

摘要

针对大量程纳米级精度测量难的问题，结合时栅传感器的基本原理，提出一种基于交变电场耦合的纳米时栅传感器。利用Nutt内插法对影响时栅精度的关键因素-时间量进行精密测量，降低了系统对插补脉冲频率的要求，提高了测量分辨率。采用SOPC技术设计纳米时栅信号处理系统，保证了系统高性能实时测量。实验结果表明，该系统能稳定正常工作，在行程200 mm测量范围内，纳米时栅误差峰峰值为590 nm。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯济琴	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	27	231	9.0	13.0
2	郑方燕	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	62	440	12.0	16.0
3	蒲红吉	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	6	70	4.0	6.0
4	于治成	重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心时栅传感及先进检测技术重庆市重点实验室	1	12	1.0	1.0