模具钢微细蚀刻速率的研究

• 作者: 于兆勤 宋卿 张永俊 王冠
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细蚀刻 模具钢 蚀刻速率
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 40-43
• 分类号: TG176
• 语种: 中文

摘要

目的 研究模具钢微细蚀刻中,蚀刻速率的变化规律.方法 采用蚀刻液喷淋加工方式,对掩膜的模具钢表面进行蚀刻,考察掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响. 结果 蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加,当掩膜尺寸大于150μm时,蚀刻速率增长较快;较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除,使得蚀刻反应充分,蚀刻速率较高;温度在一定范围内升高,蚀刻液活性增大,蚀刻效率提高,蚀刻速率增大.结论 最佳工艺条件为:掩膜间隙尺寸150 ～ 200 μm,蚀刻液喷淋压力1.0～1.4MPa,蚀刻液温度35～ 40℃.在此加工条件下,模具钢的蚀刻速率高,加工效率高,同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于兆勤	广东工业大学机电学院	86	785	14.0	25.0
2	张永俊	广东工业大学机电学院	98	507	11.0	17.0
3	王冠	广东工业大学机电学院	28	61	4.0	6.0
4	宋卿	广东工业大学机电学院	6	8	2.0	2.0