多弧离子镀TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜的制备及性能研究

• 作者: 廖凤娟 葛高峰 蒙志林 谭刚 赵广彬
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 TiN/TiCrN/CrN 多元多层复合膜
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TG722
• 语种: 中文

摘要

采用XH-800多弧离子镀设备在硬质合金刀具表面制备TiN/TiCrN/CrN多元多层复合膜.利用XRD、SEM、显微硬度计、多功能材料表面性能测试仪等对其组织结构与性能进行了研究.结果表明:膜层表面均匀,未出现龟裂现象,色泽光亮度好;膜的相结构组成为TiN和Cr2N,随着Cr靶电流的增大,TiN的择优取向由(200)向(111)转变,膜层出现单质Cr;膜层厚度为5.02μm,具有明显多层特征;显微硬度2536 HV;结合力65 N.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵广彬	西华大学材料科学与工程学院	24	89	6.0	7.0
2	蒙志林	西华大学材料科学与工程学院	3	14	2.0	3.0
3	葛高峰	西华大学材料科学与工程学院	3	18	2.0	3.0
4	谭刚	西华大学材料科学与工程学院	4	19	2.0	4.0
5	廖凤娟	西华大学材料科学与工程学院	3	18	2.0	3.0